一種一體成型管靶的生產(chǎn)工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110156015.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112981342A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112981342A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) C23C14/35;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/15;B22F3/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 宋海濤;宋愛(ài)謀 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東昊軒電子陶瓷材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000 山東省淄博市文昌湖區(qū)商家鎮(zhèn)楊家村西首
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及靶材制造技術(shù)的領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種一體成型管靶的生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：裝填：將鈮粉裝填進(jìn)入包套內(nèi)，將包套內(nèi)抽至真空；熱等靜壓：將裝有鈮粉的包套放入熱等靜壓爐內(nèi)進(jìn)行熱等靜壓，熱等靜壓過(guò)程中熱等靜壓爐內(nèi)保持持續(xù)抽氣；機(jī)加工：熱等靜壓后的包套進(jìn)行機(jī)加工得到最終管靶。本申請(qǐng)的制備方法具有減少靶材氧化，從而提高靶管純度優(yōu)點(diǎn)。