高陡度光學(xué)鏡凸面計算全息透射檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010064184.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111156924B 公開（公告）日 2021-04-02
申請公布號 CN111156924B 申請公布日 2021-04-02
分類號 G01B11/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王超;管海軍;張新;曲賀盟 申請（專利權(quán)）人 長春長光智歐科技有限公司
代理機構(gòu) 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 王淑秋
地址 130000吉林省長春市二道區(qū)北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號C301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高陡度光學(xué)鏡凸面計算全息透射檢測系統(tǒng)，該系統(tǒng)的計算全息基板設(shè)置在干涉儀焦點后且位于標(biāo)準(zhǔn)鏡與光學(xué)鏡之間，其面向光學(xué)鏡的一側(cè)為衍射面；干涉儀發(fā)出的參考光經(jīng)過出光口處的標(biāo)準(zhǔn)鏡出射球面波，參考光經(jīng)過計算全息基板和光學(xué)鏡，由光學(xué)鏡凸面反射后返回；返回的光線再經(jīng)過光學(xué)鏡和計算全息基板匯聚到干涉儀焦點，最終進入干涉儀，與內(nèi)部參考光發(fā)生干涉；干涉儀根據(jù)干涉的相位信息獲得光學(xué)鏡凸面面形信息；計算全息基板的衍射面檢測區(qū)域周期分布多個波浪形衍射環(huán)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)高陡度光學(xué)鏡凸面面形全口徑檢測，具有結(jié)構(gòu)簡單，成本低，檢測耗時短，檢測精度高等特點。??