一種可實時補償?shù)墓鈱W(xué)系統(tǒng)裝調(diào)設(shè)備及其裝調(diào)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010860464.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112033302A 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號 CN112033302A 申請公布日 2020-12-04
分類號 G01B11/24;G01B11/255;G01B21/08;G01M11/00;G02B27/62 分類 測量；測試;
發(fā)明人 管海軍;王超;徐放;謝曉麟;張繼真;曲賀盟 申請（專利權(quán)）人 長春長光智歐科技有限公司
代理機構(gòu) 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 長春長光智歐科技有限公司
地址 130000 吉林省長春市二道區(qū)北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號C301室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種可實時補償?shù)墓鈱W(xué)系統(tǒng)裝調(diào)設(shè)備，該設(shè)備的激光干涉儀、深度測量儀、干涉測量儀分別將測得的各鏡片面形精度、厚度、表面曲率半徑傳輸給計算單元，定心儀監(jiān)控在線調(diào)整鏡片傾斜和偏心并將鏡片傾斜角度和偏心距離實測數(shù)據(jù)傳輸給計算單元；鏡面定位儀測量鏡片與前一片鏡片的間隔實測數(shù)據(jù)并傳輸給計算單元；針對光學(xué)系統(tǒng)第一片鏡片，計算單元根據(jù)其理論裝調(diào)數(shù)據(jù)和自變量參數(shù)計算得到裝調(diào)指導(dǎo)數(shù)據(jù)；針對后續(xù)任一鏡片，計算單元根據(jù)其理論裝調(diào)數(shù)據(jù)、自變量參數(shù)以及前面各鏡片實際檢測數(shù)據(jù)偏差累加值計算該鏡片的裝調(diào)指導(dǎo)數(shù)據(jù)。本發(fā)明可根據(jù)各鏡片實際檢測數(shù)據(jù)進行實時補償，指導(dǎo)下一片鏡片裝調(diào)，實現(xiàn)高端顯微物鏡的快速裝調(diào)。