快速熱退火裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210018609.2 申請日 -
公開（公告）號 CN103215650A 公開（公告）日 2013-07-24
申請公布號 CN103215650A 申請公布日 2013-07-24
分類號 C30B33/02(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 蔣猛;劉志強 申請（專利權）人 四川尚德太陽能電力有限公司
代理機構 中國專利代理（香港）有限公司 代理人 無錫尚德太陽能電力有限公司;四川尚德太陽能電力有限公司
地址 214028 江蘇省無錫市新區(qū)長江南路17－6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N快速熱退火裝置，包括：用于置放襯底的襯底承載單元；在其中放置用于制造氣氛的固體物質的坩堝；以及置于所述襯底和所述坩堝之間的加熱裝置，所述加熱裝置用于使所述坩堝中的固體物質蒸發(fā)以及向上加熱所述襯底架中的襯底。