一種氣相沉積爐的密封結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820171861.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208074171U 公開（公告）日 2018-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN208074171U 申請(qǐng)公布日 2018-11-09
分類號(hào) F16J15/43;F16J15/32;C23C16/00 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 董家海 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常熟通樂電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 浙江諾華陶瓷有限公司;常熟通樂電子材料有限公司
地址 322100 浙江省金華市東陽市巍山鎮(zhèn)六懷工業(yè)功能區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氣相沉積爐的密封結(jié)構(gòu)，該氣相沉積爐包括爐體，所述爐體上方設(shè)置有爐蓋，所述爐蓋中央凸起一管套，所述管套上端設(shè)置有端盤，所述端盤中央貫穿設(shè)置一豎向的旋轉(zhuǎn)棒，所述端盤上方設(shè)置有磁流體密封套，所述磁流體密封套套接于所述旋轉(zhuǎn)棒的圓周外側(cè)。本實(shí)用新型采用磁流體密封技術(shù)，由于磁流體可進(jìn)入磁場(chǎng)的整個(gè)間隙，密封效果極好，可保證爐內(nèi)壓力恒定，生產(chǎn)穩(wěn)定，提高產(chǎn)品質(zhì)量，通過骨架油封阻止磁流體進(jìn)入爐內(nèi)，保證生產(chǎn)不受影響，又通過O型密封圈密封保證各個(gè)結(jié)構(gòu)之間的密封效果，實(shí)現(xiàn)完美配合，爐內(nèi)恒壓，生產(chǎn)穩(wěn)定，產(chǎn)品質(zhì)量高，企業(yè)效益好，實(shí)用性強(qiáng)。