全自動(dòng)多功能處理設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711251547.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107887308A 公開(kāi)（公告）日 2018-04-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN107887308A 申請(qǐng)公布日 2018-04-06
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王瑩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 合肥芯欣智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馮子玲
地址 230000 安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路3333號(hào)中國(guó)（合肥）國(guó)際智能語(yǔ)音產(chǎn)業(yè)園研發(fā)中心樓508室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種全自動(dòng)多功能處理設(shè)備，涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)依次固定有熱處理腔室、激活釋放腔室、封裝腔室和過(guò)度腔室；熱處理腔室內(nèi)安裝有第一升降架、水循環(huán)系統(tǒng)和第一機(jī)械泵；激活釋放腔室內(nèi)安裝有第二升降架和第二機(jī)械泵；封裝腔室內(nèi)安裝有第三機(jī)械泵和一分子泵；軌道、第一升降架、第二升降架形成軌道聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)。本發(fā)明通過(guò)集產(chǎn)品熱處理、激活釋放、封裝、高密封環(huán)境以及高真空工作環(huán)境為一體的全自動(dòng)設(shè)備。在極大減少產(chǎn)品周轉(zhuǎn)的同時(shí)，保證了產(chǎn)品生產(chǎn)所需工作環(huán)境，大大提高了產(chǎn)品生產(chǎn)效率，節(jié)約企業(yè)生產(chǎn)成本。