脈沖激光鍍膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910769108.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110607506B 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN110607506B 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類(lèi)號(hào) C23C14/34;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/08 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱佳敏;陳思侃;趙躍;張智巍;姚林朋 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海超導(dǎo)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 莊文莉
地址 201207 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)芳春路400號(hào)1幢3層301-15室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種脈沖激光鍍膜裝置，包括：激光器(1)、光路系統(tǒng)(2)、鍍膜腔體(3)；所述激光器(1)產(chǎn)生脈沖激光光束(21)；所述光路系統(tǒng)(2)將脈沖激光光束(21)引入鍍膜腔體(3)內(nèi)部，使得靶材(341)表面上形成羽輝(211)，來(lái)將靶材(341)的材料濺射到基帶(336)上形成超導(dǎo)層。本發(fā)明能夠提高脈沖激光鍍膜的質(zhì)、量以及設(shè)備的使用。