一種水冷屏、單晶硅生長裝置及單晶硅生長方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111266420.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113981524A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113981524A 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王新強;張存江;白建濤 申請（專利權(quán)）人 雙良硅材料（包頭）有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱英靜
地址 014062內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市稀土開發(fā)區(qū)濱河新區(qū)翠湖路35號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種水冷屏，包括：水冷屏本體和設(shè)置于所述水冷屏本體內(nèi)部的冷卻水路，所述冷卻水路至少包括兩個冷卻水路支路，且各個所述冷卻水路支路彼此相互獨立；所述冷卻水路支路通過控制冷卻水的供水時間或供水流量，使得硅棒在上升至某一高度時對應(yīng)位置的所述冷卻水路支路處于低溫狀態(tài)。本發(fā)明提供的水冷屏能通過分時分量供水，提升水冷屏換熱速率，增大硅棒生長時軸向溫度梯度，有效地提升單晶硅的生長速度。本發(fā)明實施例還公開了一種單晶硅生長裝置及單晶硅生長方法。