離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120141830.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213936110U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213936110U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) H01J27/14 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;吳秋生;趙剛;易洪波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號(hào)之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源；所述離子源水冷結(jié)構(gòu)包括：連接氣體分配片的第一導(dǎo)熱平臺(tái)，連接離子源的陽(yáng)極的第二導(dǎo)熱平臺(tái)；所述第一導(dǎo)熱平臺(tái)和第二導(dǎo)熱平臺(tái)通過絕緣隔離部件安裝在離子源底座上；所述絕緣隔離部件與所述第一導(dǎo)熱平臺(tái)和第二導(dǎo)熱平臺(tái)的連接部位開設(shè)有冷卻水路；所述氣體分配片將熱量傳遞至第一導(dǎo)熱平臺(tái)，所述離子源的陽(yáng)極將熱量傳遞至第二導(dǎo)熱平臺(tái)，所述冷卻水路對(duì)所述第一導(dǎo)熱平臺(tái)和第二導(dǎo)熱平臺(tái)進(jìn)行散熱。該技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了氣體分配片和陽(yáng)極獨(dú)立水冷冷卻，明顯提升了離子源的水冷冷卻效果；在維護(hù)時(shí)無(wú)需拆裝冷卻水路，降低了離子源維護(hù)復(fù)雜度。