離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120141830.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213936110U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936110U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01J27/14 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;吳秋生;趙剛;易洪波 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州市律帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種離子源水冷結(jié)構(gòu)及離子源；所述離子源水冷結(jié)構(gòu)包括：連接氣體分配片的第一導熱平臺，連接離子源的陽極的第二導熱平臺；所述第一導熱平臺和第二導熱平臺通過絕緣隔離部件安裝在離子源底座上；所述絕緣隔離部件與所述第一導熱平臺和第二導熱平臺的連接部位開設(shè)有冷卻水路；所述氣體分配片將熱量傳遞至第一導熱平臺，所述離子源的陽極將熱量傳遞至第二導熱平臺，所述冷卻水路對所述第一導熱平臺和第二導熱平臺進行散熱。該技術(shù)方案，實現(xiàn)了氣體分配片和陽極獨立水冷冷卻，明顯提升了離子源的水冷冷卻效果；在維護時無需拆裝冷卻水路，降低了離子源維護復雜度。