直流陰極中和器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110085601.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112908818A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112908818A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01J37/30;H01J37/08 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中山市博頓光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州市律帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 王園園 |
| 地址 | 528400 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)科技東路39號(hào)之二219、220室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及一種直流陰極中和器，包括：電離腔室，陰極靶材，維持極以及磁鐵組件；其中，維持極設(shè)于電離腔室上部，連接維持電源；陰極靶材設(shè)于電離腔室底部，連接電離電源，且陰極靶材與維持極保持絕緣隔離；磁鐵組件設(shè)于陰極靶材底部，用于在電離腔室產(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng)；在工作中，電離腔室通入工作氣體，磁鐵組件在電離腔室的電離區(qū)域產(chǎn)生強(qiáng)磁場(chǎng)，電離區(qū)域在強(qiáng)磁場(chǎng)和電場(chǎng)的共同作用下對(duì)工作氣體進(jìn)行電離產(chǎn)生等離子體；等離子體中的負(fù)電子在維持極的作用下，通過(guò)設(shè)置在電離腔室的電子輸出口進(jìn)行輸出；該技術(shù)方案，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，使用強(qiáng)磁場(chǎng)提高了電離效率；而且陰極靶材可以使用多種金屬，可以使用耐高溫稀有金屬，對(duì)產(chǎn)品不產(chǎn)生污染等不利影響。 |
