直流陰極中和器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110085601.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112908818A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112908818A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01J37/30;H01J37/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波 申請（專利權）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機構 廣州市律帆知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種直流陰極中和器，包括：電離腔室，陰極靶材，維持極以及磁鐵組件；其中，維持極設于電離腔室上部，連接維持電源；陰極靶材設于電離腔室底部，連接電離電源，且陰極靶材與維持極保持絕緣隔離；磁鐵組件設于陰極靶材底部，用于在電離腔室產生強磁場；在工作中，電離腔室通入工作氣體，磁鐵組件在電離腔室的電離區(qū)域產生強磁場，電離區(qū)域在強磁場和電場的共同作用下對工作氣體進行電離產生等離子體；等離子體中的負電子在維持極的作用下，通過設置在電離腔室的電子輸出口進行輸出；該技術方案，結構簡單，維護方便，使用強磁場提高了電離效率；而且陰極靶材可以使用多種金屬，可以使用耐高溫稀有金屬，對產品不產生污染等不利影響。