離子源的電源控制方法、系統(tǒng)及離子源裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010802515.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111933503B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN111933503B 申請公布日 2021-07-06
分類號 H01J27/14;H01J49/10;H01J49/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 冀鳴;劉運(yùn)鴻;劉偉基;范奕生;趙剛;易洪波 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市立方律師事務(wù)所 代理人 劉延喜
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種離子源的電源控制方法、系統(tǒng)及離子源裝置，所述方法包括：根據(jù)電源系統(tǒng)輸出的總電流值確定各個(gè)霍爾離子源的分支電流值；在各個(gè)所述霍爾離子源和中空陰極運(yùn)行中，分別檢測各個(gè)所述霍爾離子源的電流傳感器反饋的實(shí)際電流值；將各個(gè)所述霍爾離子源對應(yīng)的實(shí)際電流值與其設(shè)定的分支電流值的進(jìn)行比對并計(jì)算氣體流量控制參數(shù)；依據(jù)所述氣體流量控制參數(shù)調(diào)整輸入霍爾離子源的氣體流量，以控制相應(yīng)霍爾離子源的實(shí)際電流值與其設(shè)定的分支電流值相匹配。本申請實(shí)現(xiàn)了對多霍爾離子源工作時(shí)電流控制，能夠?qū)Ω鱾€(gè)霍爾離子源的電流進(jìn)行精確分配，優(yōu)化了電源控制效果，提升了各個(gè)霍爾離子源的工作效果。