中空陰極中和器的去氧裝置及供氣管路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120186524.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213752620U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752620U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01J37/30（2006.01）I;H01J37/08（2006.01）I;H01J37/24（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波;吳秋生 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種中空陰極中和器的去氧裝置及中空陰極中和器的供氣管路，該去氧裝置連接在中空陰極中和器的供氣管路上，用于對去除工作氣體中的活潑氣體；包括：加熱組件，以及連接加熱組件上的金屬管道；金屬管道一端為進(jìn)氣口，另一端為出氣口；其中，進(jìn)氣口連接供氣管道上氣體源一側(cè)，出氣口連接供氣管道上中空陰極中和器一側(cè)；加熱組件用于對金屬管道進(jìn)行加熱至設(shè)定溫度，金屬管道用于對通過其內(nèi)部的工作氣體進(jìn)行去氧；該技術(shù)方案，通過高溫金屬氧化去除工作氣體里殘余的活潑氣體，可以確保輸入到中空陰極中和器的工作氣體保持足夠的純度，避免中空陰極中和器中的高溫稀有金屬被氧化，保障中空陰極中和器中形成熱電子的材質(zhì)正常工作。