射頻陰極中和器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110085599.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112908817A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112908817A 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01J37/30;H01J37/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉偉基;冀鳴;趙剛;易洪波 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市律帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種射頻陰極中和器，包括：電離腔室，靶材，維持極，發(fā)射極，以及磁鐵組件；靶材通過第一絕緣部件設(shè)置在電離腔室底部，維持極和發(fā)射極設(shè)于電離腔室頂部，靶材連接射頻電源，磁鐵組件向電離腔室提供磁場；在工作中，向電離腔室通入工作氣體，利用磁鐵組件產(chǎn)生的磁場和射頻電源輸出的射頻電磁波對工作氣體進(jìn)行電離產(chǎn)生等離子體；維持極和發(fā)射極用于分離等離子體中的正離子和負(fù)電子，并將負(fù)電子輸出；該技術(shù)方案，使用了電容性射頻驅(qū)動的方式驅(qū)動中和器，射頻負(fù)載面對地直流絕緣，對地等效為電容，具有更高匹配效率，設(shè)備結(jié)構(gòu)更加簡單；而且通過引入磁場和射頻電共同作用，使得等離子體更加活潑，也提高了電離效率。