離子源的電源裝置及離子源設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120147993.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213752617U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752617U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01J27/02（2006.01）I;H01J27/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 冀鳴;劉偉基;趙剛;易洪波;劉運鴻 申請（專利權(quán)）人 中山市博頓光電科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州市律帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王園園
地址 528400廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技東路39號之二219、220室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種離子源的電源裝置及離子源設(shè)備，所示電源裝置包括：連接陽極的陽極電源，以及連接氣體分配片的氣體分配片電源；所述陽極電源向陽極提供直流電壓；所述氣體分配片電源在陽極電源工作時向所述氣體分配片提供額外的調(diào)節(jié)電壓，用于調(diào)節(jié)所述陽極在氣體分配片上產(chǎn)生的感應電壓。該技術(shù)方案，可以避免氣體分配片的感應電壓過高或過低對氣體分配片產(chǎn)生的影響，對氣體分配片起到了有效的保護作用。