半導(dǎo)體制造系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320361049.0 申請日 -
公開（公告）號 CN203351563U 公開（公告）日 2013-12-18
申請公布號 CN203351563U 申請公布日 2013-12-18
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任杰;黃穎泉 申請（專利權(quán)）人 光壘光電科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭瑋
地址 200050 上海市長寧區(qū)延安西路889號1106B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，所述半導(dǎo)體制造系統(tǒng)包括：控制裝置及半導(dǎo)體設(shè)備，所述控制裝置與所述半導(dǎo)體設(shè)備相互連接，使得所述控制裝置與所述半導(dǎo)體設(shè)備之間能夠通信；所述控制裝置包括顯示設(shè)備，所述顯示設(shè)備上顯示圖形化圖標(biāo)；所述控制裝置用于在所述顯示設(shè)備上的圖形化圖標(biāo)被觸發(fā)時，控制所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)和/或獲取所述半導(dǎo)體設(shè)備的工作狀態(tài)。相對于現(xiàn)有技術(shù)中的通過以文字形式呈現(xiàn)的任務(wù)條進(jìn)行選擇，本實(shí)用新型提供的顯示設(shè)備更加直觀，從而便于操作，進(jìn)而能對半導(dǎo)體設(shè)備準(zhǔn)確控制。