半導(dǎo)體處理系統(tǒng)、襯底托盤以及機(jī)械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310411110.2 申請日 -
公開（公告）號 CN103465266A 公開（公告）日 2013-12-25
申請公布號 CN103465266A 申請公布日 2013-12-25
分類號 B25J15/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 田益西 申請（專利權(quán)）人 光壘光電科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭瑋
地址 200050 上海市長寧區(qū)延安西路889號1106B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔、襯底托盤和機(jī)械手，所述襯底托盤包括底面，所述機(jī)械手包括叉狀的兩只手指，所述手指包括上表面，所述襯底托盤通過所述底面支撐在所述兩個(gè)手指的上表面，所述手指的上表面包括定位結(jié)構(gòu)，所述襯底托盤的底面具有與定位結(jié)構(gòu)相配合的配合結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還提供一種用于如上所述的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)的襯底托盤和機(jī)械手。本發(fā)明提供的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中，所述定位結(jié)構(gòu)與所述配合結(jié)構(gòu)相配合限制所述襯底托盤相對所述手指運(yùn)動，從而可以固定所述機(jī)械手與襯底托盤的相對位置，能夠避免所述襯底托盤在所述機(jī)械手上偏移。