一種用于光學(xué)特性參數(shù)測試的LED外延結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320387474.7 申請日 -
公開(公告)號 CN203351640U 公開(公告)日 2013-12-18
申請公布號 CN203351640U 申請公布日 2013-12-18
分類號 H01L33/04(2010.01)I;H01L33/36(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 梁秉文 申請(專利權(quán))人 光壘光電科技(上海)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市銘粵知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊林;馬翠平
地址 200050 上海市長寧區(qū)延安西路889號1106B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種用于光學(xué)特性參數(shù)測試的LED外延結(jié)構(gòu),其包括在襯底上依次形成的緩沖層、第一半導(dǎo)體層、量子阱層、第二半導(dǎo)體層,在第二半導(dǎo)體層上設(shè)有第一透明導(dǎo)電層,LED外延結(jié)構(gòu)中設(shè)有封閉的隔離槽,隔離槽環(huán)繞部分LED外延結(jié)構(gòu),形成測試島,測試島作為測試區(qū)域;其中,隔離槽至少貫穿第一透明導(dǎo)電層、第二半導(dǎo)體層和量子阱層,并且隔離槽位于緩沖層之上。另外,在第一透明導(dǎo)電層上還設(shè)有第二透明導(dǎo)電層,第二透明導(dǎo)電層向測試島周圍延伸而形成延伸部,該延伸部用于放置接觸電極。本實用新型的用于光學(xué)特性參數(shù)測試的LED外延結(jié)構(gòu),將測試區(qū)域面積固定,并且將接觸電極與測試島的接觸面積固定,在測試過程中提高了測試的精度以及準(zhǔn)確度。