一種疊層太陽能電池及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910158205.1 申請日 -
公開（公告）號 CN101964368B 公開（公告）日 2012-03-28
申請公布號 CN101964368B 申請公布日 2012-03-28
分類號 H01L31/042(2006.01)I;H01L31/076(2012.01)I;H01L31/20(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳文基;鄭澤文;劉麗娟 申請（專利權(quán)）人 深圳市宇光高科新能源技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京安博達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 深圳市宇光高科新能源技術(shù)有限公司
地址 518116 廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道龍平西路鵬利泰工業(yè)區(qū)C棟二、三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種新型的基于帶有透明導(dǎo)電膜的玻璃襯底的寬光譜吸收范圍的大面積a-Si:H/poly-Si疊層太陽能電池及制造方法，該電池采用a-Si:H和poly-Si不同帶隙結(jié)構(gòu)材料作為吸收層，組成glass/TCO/a-Si:H/poly-Si/AZO/Al疊層結(jié)構(gòu)。增強對太陽光光譜的吸收，極大的提高了太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率，改善了太陽能電池的質(zhì)量和性能。其中poly-Si的沉積采用新的氣源SiCl4/H2，實現(xiàn)低溫高速沉積，并使用單室大面積沉積技術(shù)，實現(xiàn)poly-Si和a-Si:H在同一個PECVD設(shè)備內(nèi)連續(xù)成膜，解決了a-Si和poly-Si制備方法不兼容的問題。制造該電池的工藝技術(shù)加工耗能少，生產(chǎn)成本低，適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。