一種基于直寫式光刻機(jī)拼板模式下內(nèi)層防呆的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910590633.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110286566B | 公開（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申請公布號(hào) | CN110286566B | 申請公布日 | 2021-08-13 |
| 分類號(hào) | G03F7/20;G03F9/00 | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 趙美云 | 申請（專利權(quán)）人 | 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥天明專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 苗娟;奚華保 |
| 地址 | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道2800號(hào)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園二期F3樓11層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種基于直寫式光刻機(jī)拼板模式下內(nèi)層防呆的方法，可解決直寫式光刻機(jī)拼板模式采用多片板子拼板曝光時(shí)，現(xiàn)有的翻版方式對位精度較低的技術(shù)問題。包括以下步驟：S100、設(shè)置兩種形狀不同的標(biāo)識(shí)Mark，對位Mark?A和序列號(hào)Mark?B；S200、根據(jù)臺(tái)面所能容納光刻機(jī)拼板的最大數(shù)量N，確定Mark?B的數(shù)量M；S300、設(shè)置Mark?B的編碼，將M個(gè)MarkB排列成不對稱的形狀；S400、使用CCD對Mark?A和Mark?B進(jìn)行圖像采集；S500、對于CCD采集到的一組Mark?B，計(jì)算得到光刻機(jī)拼板對應(yīng)的編號(hào)I并判斷是左右翻板還是上下翻板；S600、對于CCD采集到的Mark?A，確定鏡像和形變；S700、根據(jù)識(shí)別到的對相應(yīng)編號(hào)的光刻拼板圖形進(jìn)行矯正處理。本發(fā)明可以準(zhǔn)確的對拼板圖形進(jìn)行變換和補(bǔ)償，具備了防呆功能，同時(shí)提升了對位精度。 |
