雙波段照明系統(tǒng)及具有其的無掩模直寫光刻設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110858433.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113515023A 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN113515023A 申請公布日 2021-10-19
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 戚蓉蓉;楊宇航;李鵬飛 申請（專利權(quán)）人 合肥芯碁微電子裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京景聞知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賈玉姣
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)長寧大道789號1號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種雙波段照明系統(tǒng)及具有其的無掩模直寫光刻設(shè)備，雙波段照明系統(tǒng)包括：第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、適用于耦合光線的耦合透鏡、第三透鏡組、數(shù)字微鏡器件，耦合透鏡耦合第一光源和第二光源發(fā)出的光線；第三透鏡組設(shè)于耦合透鏡的光線傳輸路徑上,數(shù)字微鏡器件設(shè)于第三透鏡組的一側(cè)；其中，第一透鏡組與耦合透鏡之間設(shè)有光闌。這樣，通過設(shè)有第一光源和第二光源發(fā)出光線，并在耦合透鏡上進(jìn)行耦合后傳遞，使得進(jìn)行耦合的兩種光線的比例能夠進(jìn)行調(diào)整，降低雙波段照明系統(tǒng)所匹配成像系統(tǒng)的設(shè)計難度，提升雙波段照明系統(tǒng)的市場競爭力且雙波段照明系統(tǒng)在進(jìn)行生產(chǎn)時的工藝覆蓋面更為廣闊。