一種單晶硅切片生產(chǎn)用拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721259844.3 申請日 -
公開（公告）號 CN207480345U 公開（公告）日 2018-06-12
申請公布號 CN207480345U 申請公布日 2018-06-12
分類號 B24B29/02;B24B57/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 曹曙光 申請（專利權(quán)）人 阜寧潯朋新材料科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 224400 江蘇省鹽城市阜寧澳洋工業(yè)園靜溪路5號(F)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種單晶硅切片生產(chǎn)用拋光裝置，包括底板，所述底板頂端外壁焊接有箱體，所述箱體的一側(cè)外壁開有操作窗，所述箱體的頂端內(nèi)壁焊接有上液體箱，所述箱體底端內(nèi)壁焊接有下液體箱，且下液體箱和上液體箱均位于遠(yuǎn)離操作窗的一側(cè)，所述上液體箱和下液體箱內(nèi)均盛有拋光液，且上液體箱的底端外壁和下液體箱的頂端外壁均通過螺栓固定有等距離分布的液體流量開關(guān)，所述箱體一側(cè)外壁靠近頂端處開有第一通孔，所述箱體一側(cè)外壁靠近底端處開有第二通孔。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計新穎，可以讓工作人員方便且快捷的操作該設(shè)備，省時省力，且能夠讓單晶硅的拋光質(zhì)量更高更易符合所需要的要求。