一種大尺寸用籽晶桿保護(hù)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020387614.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212955445U | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212955445U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號(hào) | C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 左洪波;楊鑫宏;李鐵;馬宗羽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 哈爾濱奧瑞德光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種大尺寸用籽晶桿保護(hù)裝置。它包括籽晶桿、籽晶桿銅頭、電磁流量閥、壓力傳感器及PLC控制單元。籽晶桿內(nèi)擋水板將水流分割兩個(gè)連通區(qū)域，籽晶桿進(jìn)水口處連接有電磁流量閥控制水流，在籽晶桿出水口連接有壓力傳感器監(jiān)測(cè)水壓，電磁流量閥與壓力傳感器整體由PLC控制單元控制。本實(shí)用新型籽晶桿裝置冷卻效果明顯，在籽晶桿銅頭高溫漏氣時(shí)可以防止單晶爐內(nèi)熱場(chǎng)組件氧化，延長(zhǎng)其使用壽命。?? |
