一種芯片清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921351826.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN211208394U 公開(kāi)（公告）日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN211208394U 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類(lèi)號(hào) H01L21/67 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 原子健;李曉杰;常小明 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 濟(jì)源艾探電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 卓邦榮
地址 459000河南省濟(jì)源市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種芯片清洗裝置，包括外箱，外箱內(nèi)部中間固定有分隔板，分隔板將外箱體分割為上空腔和下空腔，上空腔上設(shè)有清洗組件，清洗組件包括清洗箱，清洗箱上沿清洗箱周壁上固定有多個(gè)超聲波發(fā)生器，分隔板上固定有超聲波換能器，清洗箱的中部設(shè)有置物板，出水口連接有第一管道且第一管道伸出上空腔，下空腔內(nèi)設(shè)有過(guò)濾組件，過(guò)濾組件包括設(shè)置在外箱體上的過(guò)濾板，過(guò)濾板上方設(shè)有第二管道，第一管道的伸出端與第二管道的伸出端通過(guò)彎管相互連接，外箱體上固定有水泵，水泵的進(jìn)水口通過(guò)管道與下空腔連通，水泵的出水口可通過(guò)管道將液體輸送到清洗箱內(nèi)。能夠更高效的對(duì)芯片進(jìn)行清洗，同時(shí)能夠?qū)η逑匆哼M(jìn)行重復(fù)使用，提高清洗液的使用效果。