一種真空氣相沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021688282.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213171483U 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN213171483U 申請公布日 2021-05-11
分類號 C01B33/113 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 何暢雷;季晶晶;郎慶安;黃海;劉兆平 申請（專利權(quán)）人 寧波富理電池材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張欣然
地址 315201 浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)中官西路1818號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種真空氣相沉積爐，包括：反應(yīng)室，用于為待反應(yīng)物質(zhì)提供反應(yīng)環(huán)境；鐘罩型收集器，罩設(shè)于反應(yīng)室的外周部、用于使氣體冷凝并收集氣體冷凝之后的產(chǎn)物，且設(shè)置有擴(kuò)散孔；爐蓋，罩設(shè)于鐘罩型收集器的外周部，使?fàn)t蓋內(nèi)形成密閉空間；抽真空口，設(shè)置于爐蓋，用于在抽真空時使?fàn)t蓋內(nèi)空間的氣體流出。在抽真空口處進(jìn)行抽真空操作，待反應(yīng)物質(zhì)反應(yīng)過程中產(chǎn)生的氣體由出氣孔出來之后，會沿著鐘罩型收集器的內(nèi)壁流動并冷凝，被鐘罩型收集器收集，鐘罩型收集器內(nèi)的空氣會流動至擴(kuò)散孔，由于擴(kuò)散孔與出氣孔錯位設(shè)置，因此氣體在流動的過程中需要改變方向，流動路線為非直線，避免了氣體直接被抽走，從而提高了真空氣相沉積爐的收料率。