一種測(cè)試站三軸微調(diào)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021393016.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212567196U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212567196U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B5/00 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 蔡慶鑫;丘劭暉;李奕年 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇同臻智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 江蘇銀創(chuàng)律師事務(wù)所 | 代理人 | 李挺 |
| 地址 | 314419 浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)芯中路8號(hào)6幢2樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種測(cè)試站三軸微調(diào)裝置，其涉及高精度機(jī)械領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于半導(dǎo)體晶片制造加工領(lǐng)域的測(cè)試站三軸微調(diào)裝置。通過(guò)設(shè)置X向調(diào)節(jié)組件、Y向調(diào)節(jié)組件和Z向調(diào)節(jié)組件實(shí)現(xiàn)三向微調(diào)，為了實(shí)現(xiàn)更高精度的微調(diào)，本申請(qǐng)?jiān)赬向調(diào)節(jié)組件、Y向調(diào)節(jié)組件和Z向調(diào)節(jié)組件中增設(shè)了交叉滾珠導(dǎo)軌，提高其穩(wěn)定性能，配合上千分尺旋鈕實(shí)現(xiàn)精度達(dá)到1μm的微調(diào)。 |
