一種PECVD設(shè)備的折疊縮放電極

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821052533.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208378999U 公開（公告）日 2019-01-15
申請公布號 CN208378999U 申請公布日 2019-01-15
分類號 C23C16/509 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉振波;霍錦輝;張向陽 申請（專利權(quán)）人 深圳市君本科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)工業(yè)園路1號1棟凱豪達(dá)大廈十四層1410
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種PECVD設(shè)備的折疊縮放電極，PECVD設(shè)備具有一矩形的鍍膜空腔，包括多個(gè)可活動(dòng)抽取的電極模組，每個(gè)電極模組包括負(fù)極固定板以及固定連接在負(fù)極固定板下方的正極固定板，所述負(fù)極固定板上表面安裝有多個(gè)呈上下疊層設(shè)置且可以拉伸展開的負(fù)電極板組，負(fù)電極板組的一端通過第一固定邊條與負(fù)極固定板相固定，負(fù)電極板組的另一端通過第一活動(dòng)邊條可滑動(dòng)的連接到負(fù)極固定板上，所述正極固定板下表面安裝有多個(gè)呈上下疊層設(shè)置且可以拉伸展開的正電極板組，正電極板組的一端通過第二固定條與正極固定板相固定，正電極板組的另一端通過第二活動(dòng)邊條可滑動(dòng)的連接到正極固定板上，本電極板的面積可以根據(jù)需要進(jìn)行靈活調(diào)節(jié)，滿足了不同大小工件的多樣化加工需求，較大程度的利用了鍍膜空間，大大節(jié)省了納米材料。