一種PECVD設備的折疊縮放電極

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821052533.4 申請日 -
公開（公告）號 CN208378999U 公開（公告）日 2019-01-15
申請公布號 CN208378999U 申請公布日 2019-01-15
分類號 C23C16/509 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉振波;霍錦輝;張向陽 申請（專利權）人 深圳市君本科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構 - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)工業(yè)園路1號1棟凱豪達大廈十四層1410
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種PECVD設備的折疊縮放電極，PECVD設備具有一矩形的鍍膜空腔，包括多個可活動抽取的電極模組，每個電極模組包括負極固定板以及固定連接在負極固定板下方的正極固定板，所述負極固定板上表面安裝有多個呈上下疊層設置且可以拉伸展開的負電極板組，負電極板組的一端通過第一固定邊條與負極固定板相固定，負電極板組的另一端通過第一活動邊條可滑動的連接到負極固定板上，所述正極固定板下表面安裝有多個呈上下疊層設置且可以拉伸展開的正電極板組，正電極板組的一端通過第二固定條與正極固定板相固定，正電極板組的另一端通過第二活動邊條可滑動的連接到正極固定板上，本電極板的面積可以根據(jù)需要進行靈活調(diào)節(jié)，滿足了不同大小工件的多樣化加工需求，較大程度的利用了鍍膜空間，大大節(jié)省了納米材料。