一種硅壓阻壓力傳感器芯體及其生產方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110455038.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102519658B 公開（公告）日 2014-11-05
申請公布號 CN102519658B 申請公布日 2014-11-05
分類號 G01L9/06(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊熹;任忠原;李存德;徐冬梅;姚子龍;馬長寶;王玉熬 申請（專利權）人 天水華天傳感器有限公司
代理機構 甘肅省知識產權事務中心 代理人 天水華天傳感器有限公司
地址 741000 甘肅省天水市雙橋路14號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的目的是提供一種硅壓阻壓力傳感器芯體及其生產方法，以解決現(xiàn)有硅壓阻壓力傳感器注油芯體中存在的硅橡膠粘接厚度大、陶瓷座設計不適宜自動鍵合、注油多，無法生產10kPa以下小量程的問題。本發(fā)明硅壓阻壓力傳感器芯體，包括芯體座體、玻璃絕緣子、通氣孔、引線、注油腔，所述芯體座體中心設有凹坑，所述注油腔中設有所述芯片陶瓷座，芯片陶瓷座上設有傳感器芯片，所述傳感器芯片上方設有波紋膜片，所述波紋膜片上設有焊接環(huán)。本發(fā)明傳感器芯體的生產方法，采用清洗、芯片粘接、鍵合、波紋膜片焊接、真空注油、高溫儲存、疲勞試驗、打印、自動溫度補償、測試步驟。本發(fā)明硅壓阻壓力傳感器注油芯體由于體積小、重量輕、輸出靈敏度高。