一種氣相沉積半導體設備內多孔部件的清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022821134.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213996980U 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN213996980U 申請公布日 2021-08-20
分類號 B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張勝心;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波 申請（專利權）人 富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
代理機構 大連智高專利事務所（特殊普通合伙） 代理人 蓋小靜
地址 116600遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號（環(huán)普國際產業(yè)園B04棟）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種氣相沉積半導體設備內多孔部件的清洗裝置，包括固定蓋板和清洗固定治具，所述固定蓋板為圓環(huán)結構；所述清洗固定治具包括固定盤，該固定盤中部設有沖洗孔，所述沖洗孔下面連接有轉接頭，所述固定盤上部設有一圈凸棱，該凸棱頂部設有容置槽，所述容置槽中安裝有密封圈，所述固定盤底部四周設有支腳；所述固定蓋板、清洗固定治具位于藥液儲存槽中。本申請清洗裝置結構簡單，省時省力，不需要人為操作；通過液體流量計來檢測藥液流量，然后根據(jù)實際使用情況氣壓顯示調節(jié)閥調節(jié)壓縮空氣壓力大小，進而來控制藥液穿過多孔部件上環(huán)形通孔的高度，實現(xiàn)精準清洗目的。