半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022821090.4 申請日 -
公開（公告）號 CN213970700U 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN213970700U 申請公布日 2021-08-17
分類號 B24C9/00（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 劉亮德;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波 申請（專利權(quán)）人 富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專利事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 蓋小靜
地址 116600遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號（環(huán)普國際產(chǎn)業(yè)園B04棟）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積裝置噴頭部件洗凈噴砂防堵保護(hù)治具，包括下部進(jìn)氣保護(hù)治具、空氣增壓泵、氣壓調(diào)節(jié)閥、氣體導(dǎo)流板、橡膠密封圈和上部保護(hù)治具，所述上部保護(hù)治具位于下部進(jìn)氣保護(hù)治具上，在下部進(jìn)氣保護(hù)治具上面設(shè)有一圈凸起，所述凸起外周設(shè)有橡膠密封圈，凸起內(nèi)凹設(shè)有進(jìn)氣槽，在進(jìn)氣槽中固定有氣體導(dǎo)流板，所述進(jìn)氣槽底部設(shè)有多個進(jìn)氣口，每個進(jìn)氣口分別與進(jìn)氣管路相連，所述進(jìn)氣管路均連接至主管路，在主管路上依次設(shè)有氣壓調(diào)節(jié)閥、空氣增壓泵。本申請治具可以避免噴砂造成的孔內(nèi)砂材顆粒堵塞，而且能夠消除使用膠帶保護(hù)所引起的不良影響。