一種半導(dǎo)體設(shè)備鋁部件清洗熔射固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022825821.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213924975U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213924975U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C23C4/02（2006.01）I;C23G3/00（2006.01）I;C23C4/12（2016.01）I;B24C1/08（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張勝心;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專利事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 蓋小靜
地址 116600遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號(hào)（環(huán)普國際產(chǎn)業(yè)園B04棟）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體設(shè)備鋁部件清洗熔射固定裝置，包括清洗保護(hù)機(jī)構(gòu)和熔射固定機(jī)構(gòu)；所述清洗保護(hù)機(jī)構(gòu)包括藥液槽、單向氣動(dòng)泵、氣壓顯示調(diào)節(jié)閥，所述藥液槽一側(cè)下部通過出液管路與單向氣動(dòng)泵進(jìn)液口相連，所述單向氣動(dòng)泵出液口通過進(jìn)液管路與藥液槽另一側(cè)上部相連，單向氣動(dòng)泵進(jìn)氣口通過氣壓顯示調(diào)節(jié)閥與空氣壓縮罐相連；所述熔射固定機(jī)構(gòu)包括環(huán)形固定盤，所述環(huán)形固定盤外周設(shè)有一圈向上延伸的限位棱，在環(huán)形固定盤上面安裝有多組定位銷。單向氣動(dòng)泵對(duì)藥液進(jìn)行循環(huán)處理，保證槽內(nèi)藥液藥性強(qiáng)度的均勻性；清洗后的鋁部件四個(gè)為一組放置在環(huán)形固定盤上，利用鋁部件形狀特性，可以組成一個(gè)圓環(huán)結(jié)構(gòu)，提高了熔射效率，且符合熔射工藝需求。