一種半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備硅環(huán)類零部件清洗治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022870071.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213997142U 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN213997142U 申請公布日 2021-08-20
分類號 B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張樹東;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波 申請（專利權(quán)）人 富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專利事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 蓋小靜
地址 116600遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號（環(huán)普國際產(chǎn)業(yè)園B04棟）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備硅環(huán)類零部件清洗治具，包括清洗固定底板和多個清洗固定中板，在清洗固定底板上面設(shè)有依次疊加設(shè)置的清洗固定中板，每個清洗固定中板底面四周分布有限位卡塊；所述清洗固定底板、清洗固定中板為中空的方形框架，所述方形框架上面四周分布有限位擋板，在限位擋板內(nèi)側(cè)凹設(shè)限位卡塊槽；在方形框架的每個框板上面均安裝有定位銷和定位板。本申請治具可以根據(jù)部件數(shù)量及清洗槽尺寸進(jìn)行疊加，能夠有效的避免部件劃傷，具有較好的耐磨性，并且使用方便，定位精度高，可重復(fù)利用，節(jié)省人力，提高了工作效率。