一種半導(dǎo)體芯片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置組件的清洗與檢測(cè)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022825697.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214002560U 公開(kāi)(公告)日 2021-08-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN214002560U 申請(qǐng)公布日 2021-08-20
分類(lèi)號(hào) B65D25/10(2006.01)I;B65D25/02(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I 分類(lèi) 輸送;包裝;貯存;搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 張勝心;賀賢漢;朱光宇;王松朋;張正偉;李泓波 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 富樂(lè)德科技發(fā)展(大連)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專(zhuān)利事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 蓋小靜
地址 116600遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號(hào)(環(huán)普國(guó)際產(chǎn)業(yè)園B04棟)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體芯片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置組件的清洗與檢測(cè)設(shè)備,包括清洗裝置和定位檢測(cè)裝置,所述清洗裝置包括位于藥液槽中的墊塊,在墊塊上設(shè)有清洗治具,所述清洗治具通過(guò)進(jìn)液管道與氣動(dòng)隔膜泵頂部相連,所述氣動(dòng)隔膜泵一端通過(guò)出液管道連接至藥液槽底部,所述氣動(dòng)隔膜泵另一端通過(guò)氣壓顯示調(diào)節(jié)閥與壓縮空氣罐相連;所述定位檢測(cè)裝置包括檢測(cè)板一側(cè)分布有模擬固定凹槽,相鄰的兩個(gè)模擬固定凹槽之間設(shè)有定位棱。帶有壓力的藥液通過(guò)多孔清洗板作用到芯片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的每個(gè)部位,可將凹棱中的殘留臟污完全去除,去除后上部組件與定位檢測(cè)裝置進(jìn)行裝配,如果其固定棱能位于對(duì)應(yīng)的模擬固定凹槽中,說(shuō)明該上部組件可以和下部組件配合使用。