一種高溫低摩擦系數(shù)硬質(zhì)涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510974804.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105441890B 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號 CN105441890B 申請公布日 2018-04-17
分類號 C23C14/35;C23C14/06 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 朱曉東;商琛;李倩葉;邱龍時(shí);徐可為 申請（專利權(quán)）人 寧波云涂科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 岳培華
地址 710049 陜西省西安市碑林區(qū)咸寧西路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高溫低摩擦系數(shù)硬質(zhì)涂層及其制備方法，采用反應(yīng)磁控濺射技術(shù)陰極濺射金屬M(fèi)o和B4C復(fù)合靶，并與真空室中Ar和N2混合氣體中的N2氣反應(yīng)，在基底表面形成了獲得了C、B元素含量適當(dāng)?shù)腗o?B?C?N四元硬質(zhì)涂層，即高溫低摩擦系數(shù)硬質(zhì)涂層，通過調(diào)節(jié)復(fù)合靶中B4C的面積，使得該涂層中B和C的含量容易控制。該涂層中C、B、Mo、N元素的原子百分比分別為2～12％、0.5～8％、55～42％、44～38％。該方法工藝簡單，易于實(shí)施。本發(fā)明制得的高溫低摩擦系數(shù)硬質(zhì)涂層克服了現(xiàn)有硬質(zhì)鍍層性能的不足，兼?zhèn)溆捕雀摺⒛湍ズ透邷氐湍Σ料禂?shù)的特點(diǎn)，使其在高速切削工具上具有良好的推廣應(yīng)用前景。