一種具有微納米結(jié)構(gòu)的硬質(zhì)疏水涂層及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010997898.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112159955A 公開（公告）日 2021-01-01
申請公布號 CN112159955A 申請公布日 2021-01-01
分類號 C23C14/06(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張星翔;馬洋;張穎 申請（專利權(quán)）人 寧波云涂科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 李紅霖
地址 315191浙江省杭州市鄞州區(qū)姜山鎮(zhèn)雁湖路721號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有微納米結(jié)構(gòu)的硬質(zhì)疏水涂層及其制備方法，涉及疏水涂層領(lǐng)域。本發(fā)明的制備方法，采用帶有離子束輔助裝置的多弧離子鍍設(shè)備依次沉積Cr層和CrTiAlN層，之后使用中能碳離子束進(jìn)行照射，刻蝕的同時(shí)碳離子也會注入到CrTiAlN層內(nèi)部，形成的CrTiAlCN金屬碳化物，金屬碳化物具有比其氮化物更高的硬度，進(jìn)一步提高整個(gè)涂層的硬度和耐磨性；中能碳離子束處理之后得到的CrTiAlCN，在保留CrTiAlN膜層硬質(zhì)耐磨性的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步提高了其疏水性；碳還具有良好的減摩自潤滑性能，降低涂層表面磨損和高分子材料粘附；本發(fā)明的制備方法，工藝簡單，能夠直接應(yīng)用于工業(yè)大規(guī)模生成。??