一種具有終端保護結(jié)構(gòu)的功率器件制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911024199.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110931360A 公開（公告）日 2020-03-27
申請公布號 CN110931360A 申請公布日 2020-03-27
分類號 H01L21/336;H01L29/06;H01L21/265 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 錢夢亮;張俊 申請（專利權(quán)）人 江蘇東晨電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 尹慧晶
地址 214205 江蘇省無錫市宜興市新街街道百合工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種具有終端保護結(jié)構(gòu)的功率器件制備方法，該器件的中心有源區(qū)由并聯(lián)的單胞陣列組成，中心有源區(qū)的外圍設(shè)有終端保護區(qū)，終端保護區(qū)設(shè)有終端保護環(huán)，且在鄰近的終端保護環(huán)之間插入有P阱條。本發(fā)明的功率器件采用場限環(huán)結(jié)合P阱條的保護環(huán)結(jié)構(gòu)，可以提高終端保護效率，減小器件終端結(jié)構(gòu)所占面積，從而使得器件的制造成本降低，成品率提高，并且其對寄生電荷的敏感程度也得到了改善。