一種OLED制程提高光刻膠剝離效果的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010499955.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111628117A 公開（公告）日 2020-09-04
申請公布號(hào) CN111628117A 申請公布日 2020-09-04
分類號(hào) H01L51/56(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡璐 申請（專利權(quán)）人 南京華易泰電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 南京華易泰電子科技有限公司
地址 210043江蘇省南京市江北新區(qū)智能制造園博富路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明專利公開了一種OLED制程提高光刻膠剝離效果的方法，其方法包括如下步驟：首先在OLED基板上涂覆一層光阻層(PR)；對(duì)涂覆光阻層的基板上方，用掩膜版覆蓋，從上方進(jìn)行曝光照射，使該區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，將掩膜版阻擋的部位定義為A；OLED基板上被掩膜版阻擋的部位A區(qū)域的光刻膠溶解脫落；本發(fā)明專利通過干刻蝕法對(duì)表面蒸鍍OLED功能層的基板進(jìn)行處理，使得剝膜液可以順利在OLED功能層未覆蓋的光阻裸露區(qū)域與其接觸，達(dá)到有效去除光阻目的，解決了目前采用的OLED蒸鍍制程工藝在進(jìn)行蒸鍍后光刻膠難剝離，容易造成光刻膠無法順利去除，從而影響后續(xù)制程的問題，避免了OLED顯示器產(chǎn)生像素點(diǎn)缺色形成黑點(diǎn)，造成顯示不良的情況。??