難加工材料用細化晶粒型高鋁涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110160646.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112981333A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112981333A 申請公布日 2021-06-18
分類號 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 常新新;金章斌;王弢;鄧曉良;馬高;姜鑫;賀勝;何江海 申請（專利權）人 蘇州吉恒納米科技有限公司
代理機構 蘇州新知行知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 鄭麗玲
地址 215000 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)科智路9號3幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種難加工材料用細化晶粒型高鋁涂層的制備方法，該方法包括下列步驟：將基材清洗烘干后裝夾到轉架上，并將轉架推入涂層爐內→Ar+、H+離子清洗→Ar+離子清洗→形成Ti嵌入式納米層→細化高內應力AlTiN層→冷卻→后處理，得到基材表面的細化晶粒型高鋁涂層。本發(fā)明通過保證了涂層爐長期穩(wěn)定在550～600°以上的工藝溫度，提升靶材離化率，從而能夠形成更穩(wěn)定的AlTiN結構；通過采用組合磁場以及直流電源+矩形脈沖電源的組合電源來改善顆粒度，用電弧方式得到粗糙度更好的涂層；嵌入式Ti納米層保證了在高偏壓下得到的高內應力AlTiN涂層與基材之間有效的結合力，提高了基材的導熱性能。