生物傳感器芯片的針尖結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120026924.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214122090U 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN214122090U 申請公布日 2021-09-03
分類號 G01N27/26（2006.01）I;G01N27/327（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張意瀟;陳洪雷;夏志平;葉青青 申請（專利權(quán)）人 杭州士蘭集成電路有限公司
代理機構(gòu) 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 310018浙江省杭州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)10號大街（東）308號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種生物傳感器芯片的針尖結(jié)構(gòu)，包括多個檢測部件，每個所述檢測部件包括探針信號傳導(dǎo)層以及位于所述探針信號傳導(dǎo)層上方的探針，每個所述檢測部件還包括位于所述探針信號傳導(dǎo)層與所述探針之間的探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層。通過在探針與探針信號傳導(dǎo)層之間增加探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層用于改善應(yīng)力匹配問題，從而使探針在水平面上不會出現(xiàn)高低不平的現(xiàn)象，保證探針能夠同時檢測信號。探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層選用與探針以及探針信號傳導(dǎo)層導(dǎo)電性能近似的金屬，不會影響到信號的傳遞。