生物傳感器芯片的針尖結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120026924.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214122090U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214122090U 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01N27/26（2006.01）I;G01N27/327（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張意瀟;陳洪雷;夏志平;葉青青 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州士蘭集成電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 310018浙江省杭州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)10號(hào)大街（東）308號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種生物傳感器芯片的針尖結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)檢測(cè)部件，每個(gè)所述檢測(cè)部件包括探針信號(hào)傳導(dǎo)層以及位于所述探針信號(hào)傳導(dǎo)層上方的探針，每個(gè)所述檢測(cè)部件還包括位于所述探針信號(hào)傳導(dǎo)層與所述探針之間的探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層。通過(guò)在探針與探針信號(hào)傳導(dǎo)層之間增加探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層用于改善應(yīng)力匹配問(wèn)題，從而使探針在水平面上不會(huì)出現(xiàn)高低不平的現(xiàn)象，保證探針能夠同時(shí)檢測(cè)信號(hào)。探針應(yīng)力緩沖導(dǎo)電層選用與探針以及探針信號(hào)傳導(dǎo)層導(dǎo)電性能近似的金屬，不會(huì)影響到信號(hào)的傳遞。