微機(jī)電傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022170718.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214122270U 公開（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214122270U 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01P15/125（2006.01）I;B81B5/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 季鋒;聞?dòng)老?劉琛;賀錦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州士蘭集昕微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡純;馬陸娟
地址 310018浙江省杭州市杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)10號(hào)大街（東）308號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種微機(jī)電傳感器，微機(jī)電傳感器包括：位于襯底上的埋層，埋層上設(shè)置有多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線電極；位于多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個(gè)可動(dòng)扭擺塊，多個(gè)可動(dòng)扭擺塊通過扭擺臂與扭擺連接，多個(gè)可動(dòng)扭擺塊和扭擺臂形成可動(dòng)結(jié)構(gòu)；位于扭擺臂上方的多個(gè)固定電極；位于埋層上的支撐壁，保護(hù)壁位于支撐壁上，支撐壁和保護(hù)壁圍成空腔，可動(dòng)結(jié)構(gòu)、扭擺、多個(gè)檢測(cè)電極、多個(gè)布線電極和多個(gè)固定電極位于空腔中。本實(shí)用新型實(shí)施例提高了微機(jī)電傳感器的靈敏度，改善了可動(dòng)結(jié)構(gòu)在沖擊下斷裂的問題。