一種可精確控制厚度的軟膜復(fù)制設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120671217.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214311287U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214311287U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 冀然 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 山東重諾律師事務(wù)所 代理人 王鵬里
地址 266109山東省青島市城陽(yáng)區(qū)城陽(yáng)街道祥陽(yáng)路106號(hào)青島未來(lái)科技產(chǎn)業(yè)園6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種可精確控制厚度的軟膜復(fù)制設(shè)備，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)的中心處固定裝配有基板托盤，基板托盤的表面吸附固定有硅片，基板托盤的底部固定安裝有加熱板，工作臺(tái)的頂部通過(guò)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)裝配有蓋板，蓋板的中心處開設(shè)有裝配槽。通過(guò)基板托盤對(duì)硅片進(jìn)行吸附固定，通過(guò)蓋板對(duì)工作模板進(jìn)行吸附固定，可以通過(guò)加熱板對(duì)基板托盤的加熱，使其完成對(duì)工作模板的復(fù)制操作，通過(guò)本裝置不僅可以使對(duì)工作模板的復(fù)制更加簡(jiǎn)單、方便，而且通過(guò)呈三角形設(shè)置的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可以保證蓋板下降過(guò)程的穩(wěn)定，使其涂抹在硅片表面的復(fù)刻滴膠更加均勻的分布在硅片與工作模板之間。