一種旋涂設(shè)備用晶圓傳送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120373379.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214336685U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214336685U 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 冀然 申請（專利權(quán)）人 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 山東重諾律師事務(wù)所 代理人 王鵬里
地址 266109山東省青島市城陽區(qū)城陽街道祥陽路106號青島未來科技產(chǎn)業(yè)園6號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種旋涂設(shè)備用晶圓傳送裝置，包括傳送帶、轉(zhuǎn)動機(jī)柱、升降機(jī)柱、轉(zhuǎn)動軸和環(huán)形取片夾具，轉(zhuǎn)動機(jī)柱和升降機(jī)柱裝配于傳送帶的后側(cè)，轉(zhuǎn)動軸固定安裝于升降機(jī)柱的上端，轉(zhuǎn)動裝配座的中部裝配有電動轉(zhuǎn)軸，兩個(gè)環(huán)形取片夾具裝配于電動轉(zhuǎn)軸的外側(cè)，可防止基片表面旋涂的膠被蹭，傳送帶帶動晶圓盒向前傳輸，此時(shí)右側(cè)門打開，真空吸筆吸附在基片背面，繞轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)180°，加熱盤上的PIN針升起，基片正面向上放置在PIN針上，PIN針緩慢落下進(jìn)行加熱。加熱完成后，PIN針升起，真空吸筆4吸附基片背面完成180°翻轉(zhuǎn)，置入晶圓盒內(nèi)，然后傳送帶帶動晶圓盒回到左側(cè)，可繼續(xù)進(jìn)行旋涂。