一種晶圓存放箱

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023311654.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214421045U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214421045U 申請公布日 2021-10-19
分類號 B65D25/02（2006.01）I;B65D25/04（2006.01）I;B65D25/52（2006.01）I;B65D77/24（2006.01）I;B65D85/86（2006.01）I;B65D25/20（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 冀然 申請（專利權(quán)）人 青島天仁微納科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 山東重諾律師事務(wù)所 代理人 王鵬里
地址 266109山東省青島市城陽區(qū)城陽街道祥陽路106號青島未來科技產(chǎn)業(yè)園6號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種晶圓存放箱，包括箱體，箱體的內(nèi)腔通過隔板設(shè)置有存放腔，存放腔的側(cè)壁鉸接有開關(guān)門，箱體的側(cè)壁開設(shè)有裝配槽，裝配槽內(nèi)滑動連接有真空筆放置架，真空筆放置架的內(nèi)腔裝配有與裝配槽相卡接的定位機(jī)構(gòu)，真空筆放置架內(nèi)開設(shè)有卡槽，卡槽內(nèi)卡接有真空筆。通過存放腔內(nèi)的存放架可以同時存放多片晶圓，在箱體的側(cè)壁卡接有真空筆放置架，通過真空筆放置架內(nèi)的真空筆可以用于對存放腔內(nèi)晶圓的拿取，真空筆放置架可以通過定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行位置的調(diào)節(jié)，通過真空筆對晶圓進(jìn)行拿取更加方便，減少人為造成的晶圓磨損。