一種晶圓初步目檢裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120306913.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214374387U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214374387U 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 冀然 申請（專利權(quán)）人 青島天仁微納科技有限責任公司
代理機構(gòu) 山東重諾律師事務(wù)所 代理人 王鵬里
地址 266109山東省青島市城陽區(qū)城陽街道祥陽路106號青島未來科技產(chǎn)業(yè)園6號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓初步目檢裝置，包括主機柜和檢測箱，主機柜的上側(cè)放置有顯示屏，檢測箱的前側(cè)鉸接有透視門，檢測箱和透視門為圓筒形結(jié)構(gòu)，檢測箱的內(nèi)部安裝有移動裝置，移動裝置的下側(cè)安裝有鏡頭，檢測箱的內(nèi)部下側(cè)固定安裝有旋轉(zhuǎn)電機，旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸上側(cè)固定安裝有真空吸盤，檢測箱的內(nèi)部固定安裝有支撐環(huán)，支撐環(huán)的上表面內(nèi)側(cè)均勻固定安裝有萬向支撐球，萬向支撐球的球體上端與真空吸盤貼合，支撐環(huán)的上表面外側(cè)安裝有對中裝置。本裝置能夠?qū)Ψ胖玫木A定位吸附、自動檢測和篩分對比，避免遺漏缺陷，實現(xiàn)初步目檢工作的自動化，節(jié)省人工、提高工作效率、減少篩分誤差。