一種光刻膠保護材料以及使用其形成金屬網(wǎng)格的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111210298.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113845805A 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號 CN113845805A 申請公布日 2021-12-28
分類號 C09D129/04（2006.01）I;C09D127/18（2006.01）I;C09D7/65（2018.01）I;G03F7/20（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 李陽;王鈞;江建國 申請（專利權(quán)）人 浙江鑫柔科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市中倫律師事務(wù)所 代理人 王奕勛
地址 314500浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市烏鎮(zhèn)鎮(zhèn)經(jīng)發(fā)路302號9幢一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光刻膠保護材料以及使用其形成金屬網(wǎng)格的方法，所述光刻膠保護材料包含以下組分：（A）消泡劑；（B）表面活性劑；（C）流平劑；（D）聚烯醇；（E）高化學(xué)惰性透明聚合物顆粒；（F）去離子水。本發(fā)明的光刻膠保護材料具有極好的防粘黏特性，可以減少在接觸式曝光過程中對光罩表面的污染，在進行接觸式掩膜UV曝光過程中不會對光罩產(chǎn)生粘黏；在涂布后曝光的過程中，也不會因為引入的顆粒而對UV光固化層固化效果產(chǎn)生影響。