一種用于在基材上形成金屬網(wǎng)格的方法和裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111600525.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114489373A | 公開（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114489373A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | G06F3/041（2006.01）I;C23C18/40（2006.01）I;G03F7/30（2006.01）I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 趙亞永;季成剛;嚴(yán)少澤;鹿軒;王鈞;江建國 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江鑫柔科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市中倫律師事務(wù)所 | 代理人 | - |
| 地址 | 314500浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市烏鎮(zhèn)鎮(zhèn)環(huán)河?xùn)|路908號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種用于在基材上形成金屬網(wǎng)格的方法和裝置，所述方法包括以下步驟：（1）在所述基材的一個(gè)或多個(gè)表面上依次施加光阻層和催化層；（2）對(duì)經(jīng)步驟（1）處理的基材進(jìn)行曝光和顯影，以在所述基材的表面上形成預(yù)定圖案；以及（3）對(duì)經(jīng)步驟（2）處理的基材進(jìn)行化學(xué)鍍，以按所述預(yù)定圖案在所述基材上形成所述金屬網(wǎng)格，其中所述顯影在超聲波的存在下進(jìn)行。在通過本發(fā)明所提供的方法和裝置在基材上形成金屬網(wǎng)格時(shí)，能夠有效去除顯影后線路附近的光阻及催化劑殘留，從而顯著減少鍍銅后線路附近的殘銅，所得金屬網(wǎng)格觸控傳感器產(chǎn)品功能及外觀良率有明顯提升，并且本發(fā)明所提供的方法和裝置還進(jìn)一步具有減小金屬網(wǎng)格線寬的效果。 |
