一種工件更換機(jī)構(gòu)及外延設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123367806.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216663229U 公開（公告）日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN216663229U 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃帥帥;肖蘊(yùn)章;劉亮輝;劉佳明;徐鑫;經(jīng)軍輝;陳炳安;鐘國仿 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市納設(shè)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市光明區(qū)鳳凰街道鳳凰社區(qū)觀光路招商局光明科技園A6棟1B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N工件更換機(jī)構(gòu)及外延設(shè)備，涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。所述工件更換機(jī)構(gòu)包括托盤、承載座、支撐板、抬升組件及移動(dòng)組件；所述托盤上設(shè)有第一貫穿通孔，所述承載座上設(shè)有第二貫穿通孔，所述抬升組件能夠依次穿過所述第二貫穿通孔和所述第一貫穿通孔抵持于所述工件上，并將所述工件與所述托盤分離；所述移動(dòng)組件用于對(duì)分離后的所述工件進(jìn)行替換。所述外延設(shè)備包括上述工件更換機(jī)構(gòu)。本申請(qǐng)的所述工件更換機(jī)構(gòu)采用自動(dòng)化更換工件的方式代替了人工夾取，避免了人工夾取對(duì)工件表面造成的損壞，有利于提升產(chǎn)品的生產(chǎn)效率及良品率。