一種鍍膜設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111597018.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114717653A 公開（公告）日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114717653A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) C30B25/14（2006.01）I;C30B25/18（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 經(jīng)軍輝;肖蘊(yùn)章;黃帥帥;陳炳安;鐘國(guó)仿 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市納設(shè)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市光明區(qū)鳳凰街道鳳凰社區(qū)觀光路招商局光明科技園A6棟1B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種鍍膜設(shè)備，涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域。鍍膜設(shè)備包括殼體、機(jī)械手腔體、反應(yīng)室、氣路組件和驅(qū)動(dòng)組件；殼體與機(jī)械手腔體相連，殼體上接有柔性管道；反應(yīng)室位于殼體內(nèi)，反應(yīng)室朝向機(jī)械手腔體的一側(cè)設(shè)有進(jìn)氣通道；氣路組件穿設(shè)于柔性管道內(nèi)，并與柔性管道密封連接，氣路組件位于反應(yīng)室朝向機(jī)械手腔體的一側(cè)；驅(qū)動(dòng)組件與氣路組件相連。鍍膜設(shè)備將氣路組件和機(jī)械手腔體設(shè)置在反應(yīng)室的同一側(cè)，不影響機(jī)械手取放反應(yīng)室內(nèi)的物品，在維護(hù)時(shí)僅需將殼體遠(yuǎn)離機(jī)械手腔體的一端打開，即可取出反應(yīng)室內(nèi)部的零件進(jìn)行打磨清洗，有效地降低了維護(hù)的總耗時(shí)。此外，機(jī)械手不經(jīng)過副反應(yīng)產(chǎn)物聚集區(qū)，避免疏松的副反應(yīng)產(chǎn)物掉落在晶圓表面，提高產(chǎn)品良率。