一種晶圓平移機(jī)構(gòu)及反應(yīng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220482263.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216862855U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216862855U 申請公布日 2022-07-01
分類號 B65G47/74（2006.01）I;B65G47/82（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 徐鑫;肖蘊(yùn)章;楊方;陳炳安;鐘國仿 申請（專利權(quán)）人 深圳市納設(shè)智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市光明區(qū)鳳凰街道鳳凰社區(qū)觀光路招商局光明科技園A6棟1B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓平移機(jī)構(gòu)及反應(yīng)裝置，涉及晶圓移動領(lǐng)域。所述晶圓平移機(jī)構(gòu)包括：第一連接板、第一連接部、第一滑動組件、第二滑動組件、托盤、無桿氣缸、第一惰輪組件、第二惰輪組件和過渡室，所述第一連接板上安裝所述第一滑動組件，所述第一連接板上安裝所述第二滑動組件，所述第二滑動組件上安裝所述第一連接部，所述第一連接部上設(shè)置所述托盤，所述無桿氣缸安裝在所述過渡室內(nèi)，所述無桿氣缸的移動體與所述第一連接板相連，所述第一惰輪組件和所述第二惰輪組件均安裝在所述第一連接板上。所述反應(yīng)裝置包括所述晶圓平移機(jī)構(gòu)。通過第一惰輪組件和第二惰輪組件能將晶圓輸送到更遠(yuǎn)的位置，提高晶圓輸送效率。