一種光刻膠噴頭清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023046584.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214077445U 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN214077445U 申請公布日 2021-08-31
分類號 B05B15/555（2018.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 陳付磊;丁建峰;于玉齋;王剛;潘曉忠;姚志炎 申請（專利權(quán)）人 徐州美興光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 徐州市三聯(lián)專利事務(wù)所 代理人 何君
地址 221000江蘇省徐州市徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路98號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種光刻膠噴頭清潔裝置，包括光刻膠噴頭、控制器、與光刻膠噴頭連接的機(jī)械臂、設(shè)置在光刻膠噴頭側(cè)面的清潔噴頭，機(jī)械臂、光刻膠噴頭和清潔噴頭分別與控制器連接；機(jī)械臂用于控制光刻膠噴頭移動至清潔位置，當(dāng)光刻膠噴頭移動到位時，清潔噴頭對光刻膠噴頭進(jìn)行噴液清洗，該清潔位置上設(shè)有與清潔噴頭配合的廢液回收槽，廢液回收槽的下端設(shè)有廢液回收管路。本實用新型可實現(xiàn)自動清潔噴嘴功能，避免人員接觸丙酮，降低員工作業(yè)風(fēng)險，在保證清潔效果的前提下，合理控制清潔溶液用量，從而降低生產(chǎn)成本；另外，常規(guī)清潔方式需要設(shè)備停止停機(jī)作業(yè)，而本實用新型的光刻膠噴頭清潔裝置，可減少設(shè)備停機(jī)時間，提高設(shè)備生產(chǎn)效率，提升產(chǎn)能。