用于干法蝕刻設(shè)備機(jī)械手臂不間斷供電的電池更換系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023047708.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214100952U 公開（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN214100952U 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) H02J7/36（2006.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 張勝;丁建峰;于玉齋;王剛;潘曉忠;姚志炎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州美興光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 徐州市三聯(lián)專利事務(wù)所 代理人 何君
地址 221000江蘇省徐州市徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種用于干法蝕刻設(shè)備機(jī)械手臂不間斷供電的電池更換系統(tǒng)，包括機(jī)械臂，所述機(jī)械臂內(nèi)設(shè)有編碼器，編碼器與電池連接并由電池供電；所述機(jī)械臂通過電線與上連接線槽連接，所述上連接線槽布置在萬能焊接板的上表面，每個(gè)上連接線槽與萬能焊接板下表面的一個(gè)備用線槽和一個(gè)下連接線槽相對(duì)應(yīng)，所述備用線槽和下連接線槽用于放置電池塊。本實(shí)用新型的電池更換系統(tǒng)，利用不間斷供電的方式，代替?zhèn)鹘y(tǒng)更換電池時(shí)直接拆掉電池進(jìn)行更換的方式，避免了機(jī)械臂位置信息丟失，操作過程中更加快捷、方便。